Semiconductor fabrication - technology and metrology
- Författare
- (Dinesh C. Gupta, editor.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1989 | USA, Philadelphia, PA | 476 sidor. ill. |